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研磨廢液管路清潔

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酸氣排氣管路結晶堵塞 排氣管路清理 無塵室排氣管路清潔
半導體製程排氣管路主要排氣管路內廢氣來源包括表一資料。各排氣管路內需特別注意各類化學物質相容之問題，管路內特殊氣體的種類可分為腐蝕性、毒性、易燃性、氧化性、惰性等，一般常用的半導體氣體分類包括：

 ● 腐蝕性 / 毒性：HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3…等；
● 易燃性：H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、 SiH2Cl2、 B2H6、 CH2F2、CH3F、CO…等；
● 氧化性：O2、Cl2、 N2O、NF3…等；
● 惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr 、He…等

通常這些通風管路必須定期清潔,管路尾端會將排氣排放到scrubber,兆佑昌也提供scrubber維護

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定期做好SUB-FAB排氣管路結晶清理.避免災害發生

美國Factory Mutual (FM)針對1986年至1996年十年來災害統計，表示FM保險公司理賠之無塵室災害有記錄者共260件，其中通風排氣系統災害佔80%以上；而機台災害則以Wet Bench一項次數最高；損失金額則以製程排氣系統(Fume Exhaust System)居冠                              定期的清理排氣管路/排氣風管清潔,避免造成堵塞,壓差異常

 

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