無塵室清潔      
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無塵室(Clean Room),亦稱為無塵室或清淨室。
它是污染控制的基礎。沒有無塵室,污染敏感零件
不可能批量生產。在 FED-STD-2 裏面,無塵室被
定義為具 備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝
置的房間,其中特定的規則的操作程式 以控制空氣
懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔淨度級別。
無塵室是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、
有害空氣、細菌等之污染物排 除,並將室內之溫度
、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音
振動及照 明、靜電控制在某一需求範圍內,而所給
予特別設計之房間。亦即是不論外在之 空氣條件如
何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔
淨度、溫濕度及壓 力等性能之特性。 無塵室最主要
之作用在於控制產品(如矽晶片等)所接觸之大氣的潔
淨度日及溫 濕度,使產品能在一個良好之環境空間
中生產、製造,此空間我們稱之為無塵室。 按照國
際慣例,無塵淨化級別主要是根據每立方米空氣中
粒子直徑大於劃分標準 的粒子數量來規定。也就是
說所謂無塵並非 100%沒有一點灰塵,而是控制在一
個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的
顆粒相對於我們常見的灰 塵已經是小的微乎其微, 但
是對於光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產 生
非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無
塵是必然的要求。 每立方米將小於 0.5 微米粒徑的微
塵數量控制在 3500 個以下,就達到了國際 無塵標准
的 A 級。目前應用在晶片級生產加工的無塵標準對於
灰塵的要求高於 A 級,這樣的高標主要被應用在一些
等級較高晶片生產上。微塵數量被嚴格控制在 每立方米
1000 個以內,這也就是業內俗稱的 1K 級別。 無塵室
作用極大,但清洗起來相對麻煩,如不能掌握專業知識,
更是無從下手,
兆佑昌清潔公司提供無塵室清潔服務。
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