相關廠務端工程清潔 | ||
在無塵室內,通常有3-4種排氣
酸鹼排氣:全程必須使用耐酸鹼的材質配管以及設備,再經過水洗加藥中和,方可排放!
有機排氣:必須有消防設施,防止氣爆並經過活性碳塔過濾,方可排放!
一般排氣以及廢熱排氣:較無特殊規範一般以鍍鋅鐵管為主!
通常這些通風管路必須定期清潔,管路尾端會將排氣排放到scrubber,兆佑昌也提供scrubber維護保養清洗工程
在半導體廠製程中含有矽(Si);製程過程中會有含矽(Si)的反應物,製程的廢氣會經過燃燒器(Burn local scrubber)處理,處理後會產生細小白色氧化物(SiO2),白色的粉末經由排氣系統的管路容易造成管路的阻塞,造成排氣靜壓不足。有一些粉末會經由排氣管路至中央洗滌塔,造成排氣風車的不平衡引起風車振動,粉末進入洗滌塔內會造成拉西環阻塞造成水洗的比表面積不足,容易造成中央洗滌塔的效率降低,所以本廠有增設靜電式氣膠處理設備(Electrostatic PrecipitatorExpectation)由粉末的發生源設置集塵處理設備,把大份的粉末處理下來降低後段的管路與中央洗滌塔阻塞的機會,減少清理管路與清洗中央洗滌塔的次數,同時可以減少排氣系統的白煙現象。
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